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至纯科技（603690）(603690.SH)披露2022年度非公开发行A股股票预案，本次非公开发行募集资金不超过(含)18亿元，扣除发行费用后将用于以下项目：4亿元用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目，1.6亿元用于至纯北方半导体研发生产中心项目，7亿元用于启东半导体装备产业化基地二期项目，5.4亿元用于补充流动资金或偿还债务。

据悉，本次募集资金项目建成后，一方面能够扩充公司现有产品的产能，通过建设先进的生产基地进一步提高生产规模，满足日益增长的市场需求;另一方面通过建设产业化基地及研发中心助力公司产品线的扩张，进一步强化公司在半导体设备领域的技术优势并丰富产品结构，提升公司产品的科技含量扩展公司业务规模，增强持续盈利能力。